是在掩膜版上绘制的电路图案,通过投影透镜缩小,再将图案曝光在硅晶圆上。 光刻机作为芯片生产过程中,复杂性最高,技术含量最高的设备,被称为半导体工业皇冠上的明珠。 芯片生产,光刻机是很重要。但也只是沉积,光刻,刻蚀,离子注入、清洗、氧化、检测,这前七道生产芯片工艺环节中的一道环节设备。 单单靠一台光刻机,就直接造出一枚枚芯片出来,这简直就是天方夜谭的事。 木村光一带着众人来到了一台显微镜边,他拿出了一片晶圆递给徐教授,并说道:“这片晶圆的芯片,光刻环节是由霓糠公司N79K光刻机完成的。” 很显然,他是想让徐教授去观看芯片里的微观结构,来证明霓糠公司的光刻机是不是真的已经达到一微米了。 “谢谢!”徐教授说完接过晶...
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