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一百三十（第1页）

经过了几个月的焦急等待与煎熬，长久和虞博士倾注心血的第一个芯片工厂终于在1983年的五月份调试成功进行了试生产。

试生产的产品是16k的mos动态存储器，比较成熟的产品，工艺也不复杂，但是却是十分的考验生产线的性能。

动态存储器结构很简单，只要一到三个晶体管即可构成一个存储单元，视结构而定。制造存储器的关键在于集成度，将成百上千的存储单元集合在一起组成阵列，相互之间的线宽要缩小到极限，这样才能降低成本，因此对工艺的要求很高。

这也是为什么一个芯片工厂的技术指标乃至一个国家的集成电路工艺水平总是用单片存储器的容量表示的原因，这方面的竞争可以说用残酷来形容，美国、欧洲、日本都在争分夺秒的提高动态存储器的容量，其中以日本做的最为变态。

小鬼子以重工业立国，几十年如一日的搞“物作”，信奉的是实体，懂得以国家之力冲刺难关，终于突破了集成电路制造技术，让日本公司在国际上都有了竞争力，能和美国人竞争mos存储器制造。

曹长久的这个芯片生产线虽说按着公开的最新技术设计，但是不敢托大，只是选择了成熟的东西试产，力求一次成功，不留后患，时间不等人。

试产那天，虞博士和曹长久严阵以待，每个环节都亲自把关。原料是进口的高纯3英寸硅单晶，价格那是相当的高。

集成电路芯片号称比黄金都贵，物料成本却比垃圾都低，其原因就是原料使用的是无所不在的沙子。

但是将沙子当中的硅提炼提纯却需要相当的工艺，这个成本就是高的惊人了。光有晶圆还不够，整个生产工序足有89道，每一道都是一个关口，要想将成品率控制在百分之八、九十以上其难度可想而知。

作为精密印刷业的一个分支，芯片工艺最见不得的就是灰尘和缺陷，更何况几乎上百道的工序要转移。

因此每道工序的合格率就成了关键，哪怕是百分之九十九也不成。很简单，一道工序合格百分之九十九，那么近百道工序下来还剩多少能用的？

因此虞博士和长久他们一个工序一个工序的检查，务必保证完美。虞博士是老手，他当年就是干这个的，因此熟门熟路。

长久就是一生手，好在他现在的地位已经不需要干什么了，只要站那里看就行了。

把所有的工序滤一遍需要好长时间，整整一个星期就这么过去了，长久不禁发懵。

“虞叔，不是要试产吗？”长久感觉不太对劲，“这都过去好些日子了，怎么还没动静？”

“年轻人少安毋躁！”虞博士成竹在胸，“没有三两三，哪敢上梁山！一年多都等下来了，还在乎这点时间，我们虽说有点钱，但也禁不起造的，准备充分一点还是有好处的。”

欲善其事先利其器的道理长久还是懂得，倒也没说什么。虞博士这些日子的辛劳他也看在眼里，人家都身先士卒了，长久一个头还能不表示表示？

忙碌了一周之后，生产线悄无声息的开动了，一片片的晶圆犹如烤面包一样的在炉子里面旋转烘烤。一片灰尘就能报废整个的晶圆，人人在里面都得穿上防化服，防止各种各样的污染。

这个生产线还不是全自动化的，依然有人在里面做一些必须的工作，人人都小心翼翼，手里端的可都是希望。

整整72小时，第一批的16k存储器晶圆出炉了，经过切割检测，一个大致的成品率数据被估算出来了。

“百分之七十八，嗯。”虞博士嘴里念叨着，脸上不动声色。

长久也不知道这个数据是好是坏，只好问道：“虞叔怎么样，能不能成啊。”

虞博士笑道：“还行，等我们的工艺参数微调之后相信会更好。”

“那就是成功了！”长久拿着一块成品晶圆兴奋的大叫，“万岁！”

这是一颗16Kbit的mos管动态存储器，是基于单晶体管存储单元的结构，使用了两层多晶薄膜分开三层电路结构，就好像电路板分层一样。

两层多晶结构可以使整个的集成电路可以有更好的布线效率，就相当于一块电路板双层的可以比单层的面积缩小一半。

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