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第310章一代光刻机（第1页）

手机、电脑等电子产品面世的种类越来越多，其他产业对芯片的需求无论是数量还是种类也同样大增。马由很清楚，以后半导体芯片将逐渐开始深入到生活、工作的每一个角落，一套家用电器、办公用品、实验设备、汽车，几乎没有不涉及到芯片运用的产品。

现在这个时代，仅仅是芯片运用起步阶段，但还是越来越广泛了。芯片也开始不断衍生出新的功能和指向性更强的专用芯片。所以芯片产业链也就越来越成熟，需求和产值自然放大。

虽说年初布局产业时，就考虑到晶圆工厂的生产可持续发展。将产能尽可能扩大了，但随着全球经济向好，前些年晶圆加工产能过剩的状况不知不觉中已彻底扭转。弘崆晶圆厂在今年下半年，也陆续接到了不少Fabless模式（只设计、包装和销售芯片，自身没有加工能力）企业的芯片加工合同。

若只考虑蓝星集团自用，包括满足国产电脑、组装机市场需求。蓝星集团在德国、弘崆和蓉城三家晶圆工厂的产能足够。但马由给弘崆晶圆工厂甚至以后对德国工厂的定位，都是Foundry（代工厂）模式，其目的就是要让西方列强逐渐制造业空心化。同时还能狙击弯积电、三星等对外代工的企业。因而无论如何也要保障弘崆的晶圆厂对外承接芯片加工的产能。

这是长远的大计，也是符合科技发展轨迹中，分工越来越专业化、规模化的趋势。所以他不但不能占用弘崆晶圆工厂的产能，反而还要继续扩大这家工厂的规模。

蓉城的晶圆工厂二期、弘崆晶圆加工厂在鹏城的二期工厂，都在进行土建施工和防尘车间装修中，再有2-3个月就要竣工。那时，就需要两家晶圆厂1期工程4倍的芯片生产线。

芯片生产线主要由单晶炉、晶圆划片机、晶片减薄机、气相外延炉、分子束外延系统、氧化炉（VDF）、低压化学气相淀积系统、等离子体增强化学气相淀积系统、磁控溅射台、化学机械抛光机、引线键合机、光刻机、光刻胶、蚀刻机、反应离子刻蚀系统、高能粒子注入机、探针测试台等设备组成。

其中光刻机已无法从国外进口，另外还有等高能离子注入机被两家米国企业所垄断，同样被限制进口到华国大陆。其他大部分设备限制没有这么严格，蓝星集团已在全球完成订购。

自研更高效率、更小制程新型光刻机及芯片生产线，势在必行。对此马由也早有计划。除连港的机床厂生产高精密数控机床外，京城、鹭岛、蓉城、姑苏等地都规划了精密仪器、设备工厂。在姑苏布局了光学工业，在实验室已完成光源制造。这都是为生产芯片生产设备所需，进行的产业布局。

芯片生产线中最核心的设备光刻机，是马由最先要解决的难题之一。它跟照相机有相似的原理和构造，它的底片就是涂满光敏胶的硅片。电路图案经光刻机，缩微投射到底片，蚀刻掉一部分胶，露出硅面做化学处理。制造芯片，要重复几十遍这个过程。

位于光刻机中心的镜头，由20多块锅底大的镜片串联组成。镜片得高纯度透光材料+高质量抛光。光刻机使用的镜片，得数万米元一块。这时阿斯麦尔光刻机镜片都是靠蔡司技术打底。其他如尼康等光刻机厂，本身就是光学工业企业。

马由布局在姑苏的光学工厂，通过这几个月生产各种影像设备，逐步掌握了蓝星集团自研的各种高端光学制造设备和仪器。其中一个小组，已秘密开始研制光刻机镜片。

有顶级的镜头和光源，还需极致的机械精密制造。

光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。有专家形容道：“相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。”

而且，温湿度和空气压力变化会影响对焦。机器内部温度的变化要控制在千分之五度，得有合适的冷却方法，精准的测温传感器。最好的光刻机，包含13个分系统，3万个机械件，200多个传感器，每一个都要稳定。现在马由要解决的就是如此众多的精密构件加工问题。

京城电子厂已完成将所有优盘的生产线，转移到西京和鹏城两地。目前已转产集团其他企业所需的生产线，和各种设备的控制系统、科研设备等精密仪器。现在是满负荷状态。

姑苏的蓝星产业园已全部生产摄像机、摄影机、数字后期处理设备、以及数码相机，也已经满负荷。

现在可以安排生产光刻机等芯片生产线设备的工厂，还有京城电子厂二期和蓉城、鹭岛等工厂。

京城电子厂二期是收购了798其他兄弟工厂，如718及旗下的706、707、797后，在原厂址上进行改造而成。

718联合总厂于1951年建成，来自民主德国设计师，建造了当时亚洲首屈一指116.19万平方米的总面积的巨大工厂，无论规模还是其建筑工艺在当时的极为辉煌。

现在虽拆除了部分工厂配套辅助用房、住宅、和部分车间。但还60多万平方米的老建筑，经过整修加固，全部重新按1万-1000级无尘标准装修。还有2座核心元器件车间，按10级防尘标准装修。

现在各种高精密数控机床等设备也陆续进厂安装。近期就可以投入芯片生产线设备的部分零部件。

京城电子厂二期与鹭岛、蓉城三家精密加工厂，基本能满足所有零部件生产所需。这样分散加工，也有利于设备的保密工作。当然，其中还是有一些核心元器件及超精密部件这三家也无法生产，就需由马由的私人实验室完成。

因为有星儿这个超级大脑来将图纸分解、生产计划安排。这些工作都能有条不紊、合理落实。

自主研发芯片生产线设备，他有两种技术路线。

其中计划

其一，还是仿前世资料中记载的原来发展路径，也就是现在西方国家正在走的道路。这些设备他将用到德国、弘崆（含鹏城）两处Foundry（代工厂）模式的工厂里。当然，始终要保持与其他晶圆企业领先2个代差。

第二，则是放在蓉城晶圆工厂内使用的全新型号生产线。这是放弃前世芯片生产线那种复杂工序，以及配套的众多昂贵设备。完全是一体化、全智能控制的生产线。生产效率可提高了300%，良品率更低提升到99.6%。

当然，这两种技术路线，在短时间内，蓝星集团都无法完全做到自主生产。主要是没有必要，有些设备自产的价值不大，成本也不会节约多少。暂时全球采购，国内则需要逐渐培育出半导体产业的完整产业链。

第二类全智能生产线的设计和制造难度，领先了第一类（也就是西方国家正在行走的路径）大太多。可以说其他企业40年内，都无法攻克。其中关键就是人工智能，对整个生产线的精准控制。

因为是全封闭全自动化生产，对芯片生产中，工程师和高级技师的数量，比较其他工厂节省60%。这样也就容易做到保密。生产车间本来就是全密封，加上牢不可破的安防系统后，杜绝了有心人的窥视。

此外，马由还计划大量生产第一种技术路线的光刻机、蚀刻机等核心设备，并对外销售。

其目的就是打压目前比较凌乱的光刻机市场。在阿斯麦尔完成崛起并垄断高端光刻机之前，就将其扼杀在摇篮之中。顺便淘汰尼康、佳能等倭国的光刻机。这样就能将芯片产业的核心设备和技术牢牢掌控。

要达到这个目的其实并不难，前世芯片在紧张，也没有更多的光刻机制造工厂诞生，不仅是因为技术难度、制造难度极大。关键还是市场其实很小。若能买得到光刻机，不会有人愿意花大力气去生产。

前世阿斯麦尔年产光刻机也仅仅只有20台以内，就证明了其运用范围及其狭窄。

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