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接着沉积光刻胶,在连续的蚀刻流程后,光刻胶修整再蚀刻出个阶梯,形成互连。
最后一
步,蚀刻出一个槽再填充氧化物。
然而问题不是出在第三步的光刻胶蚀刻,就是出在流片封测上,哪怕侥幸成功,粗粗一算,良品率低得简直令人发指——
才6.3%!阑
「陆总,东芝难道就没有一个说法吗!」
胡煜华愤愤不平道:「这个项目我们已经砸了2.2亿美刀啊!」
「能有什么说法?」
陆飞拳头攥紧,积压着火:「东芝负责这个项目的技术总工割腕住院,会计卧轨死了,西田这个王八蛋把腰一弯,说句「红豆泥斯密马赛」就想死不认账,吗的,哪有这么便宜的事!这群小霓虹我怀疑是组团忽悠我们,背地里一直在贪污研发经费。」
「这也太无耻了吧?」
胡煜华万万没想到东芝能这么臭不要脸,一时无语道:「那我们不是白折腾了吗?」
「哈哈哈,不白折腾。」阑
陆飞转怒为喜,「东芝敢这么干,不就欺我逻辑无能人嘛?
可巧了,我们还真有人!
朱一明觉得先栅极行不通,能不能试一试后栅极,交替氧化物层和氮化物层,结果他们真捣鼓出一个有别于「BiCS」的新工艺,叫「TCAT」,TerabitCellArrayTransistor。」
(ps:三星就是这个工艺)
「陆总,流片封测的结果怎么样?」
「相当可观,良品率提高了1倍之多。」
「天呐!!」阑
胡煜华倒吸一口凉气,这项工艺如果发展顺利,完全够格入选guo家科技进步奖。
而且,至少是二等奖!
「嘘,保密阶段,没看庆功宴都没有吗。」陆飞做了个噤声的手势,「东芝不会知道我们背着他们偷偷成立了一个新的项目组,而且是独占,现在你觉得这钱花的冤枉?这笔技术交叉许可亏吗?」
「陆总,您这是一石三鸟!」
胡煜华兴奋中带着一丝敬佩,虽然钱被贪了,项目黄了,但东芝帮复芯培养了一批闪存芯片的高精尖人才。
正是这批人,才有了TCAT工艺。
而且BiCS工艺也不是毫无价值,如果三星同意授权,不但能换来OLED、AMOLED面板的技术交叉许可,还能误导三星闪存的研发方向,要知道从吃透资料,到搭建试验,再到修正改进,没有个三五年,根本不可能。阑
这不正是复芯发展的良机吗!
「虚则实之,实则虚之。」
陆飞出口就是《孙子兵法》。
胡煜华称奇之余担忧道:「可这样做会不会对李富真小姐不利啊?如果三星答应技术交换,BiCS的工艺缺陷将来肯定会被查出,作为引进技术的负责人,她会不会……」
「查!一定要查!还必须狠狠查出来!」
陆飞表情严肃,「不查,我们怎么证明逻辑也是受害者?不证明,我们怎么暴露东芝数据造假?不暴露,我们又怎么和三星联手报复呢?三星肯定能理解,他们又不是没被东芝坑过,那句话怎么说来着,中韩友谊靠霓虹。」
「那李小姐?」胡煜华问。阑
陆飞抬起左腿,放在右腿上,「等事发的时候,她早就不在晶圆代工部,应该在消费电子部,就算翻旧账,这个命令也是李健熙亲自下达,不排除李在镕也参与了,她只不过奉命行事而已,要怪,也怪不到她头上。」
怪不得不去送机,原来心里有鬼……
胡煜华觉得好有道理,一时竟无法反驳。
「这个也算废物利用。」
陆飞眯了眯眼,
「就等三星出第一拳,呵呵,特么的小霓虹,敢贪我的钱是吧!」
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