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寂静的气氛持续了有几十秒,似乎连喘气声都清晰可见。
赵思远看着手中这一沓文件,一脸懵逼道:“张院长你没在开玩笑吧?”
“光刻机?duv技术光刻机?我们几时有这一种技术了?”
别说浸润式duv光刻机,更别说什么32nm的制程,目前他们夏微电子也只能做到90nm制程的投影式光刻机罢了。
结果你告诉他,现在夏科院拥有32nm的duv光刻机技术?这是在开哪门子的玩笑?
都不能算是跨越式发展了,而是直接一飞冲天到了外太空。
“你先看看就知道了。”张予理颔首笑道。
“那我先看看吧.”
赵思远拧巴着眉头,带着疑惑打开了这一份文件。
看面倒是没有介绍什么研制方式,毕竟那实在是太过于繁琐了,而是一些十分简单的综述。
然而,既然如此他只是瞥了一眼上面写的描述,立刻脸上呆滞住了。
利用26mm*8mm狭缝扫描,令晶圆片与掩膜版同步动态扫描.使其达成26mm*33mm曝光场.技术实施路线为:.
利用多重曝光技术.三重曝光(lelele)使其拆分为多个掩膜版上,使其图像雕刻密度迭加,工艺制程成倍提升,实施手段为:
.
尽管只是粗略的看了几眼,但是从这些综述上而言他并没有发现太大问题。
赵思远迅速翻阅了下面几十页的草稿纸,整个人瞬间沉浸于这茫茫多的公式与介绍当中。
时间一分一秒的过去,他每翻阅下一页的速度就会更加的缓慢,甚至有时候还会盯着几个公式琢磨大半天。
旁边的张予理和郑立行两人倒是没有着急,倒上两杯茶水慢慢自酌自饮起来。
直到时间过去了近乎两个小时,赵思远才粗略的看完了大致内容。
脸上带着浓郁的震撼与震惊:“这这是真的?”
这tm竟然是真的32nm工艺光刻机?
夏科院哪里来的技术?伱们是把amsl公司的人绑架了吗?难道我们大夏也效仿鹰酱了?
“小赵,这份技术怎么样?”郑立行挑了挑眉。
这可是‘长城守望’组织发送过来的技术,那还能有假的不成?
别说什么duv光刻机技术了,他们现在就算是发送‘火星载人飞船’技术给他们,大夏都会选择先‘相信’再‘质疑’!
“实现的可能性相当大”赵思远眉头紧皱,思索许久后紧接着说道:“哪怕32nm制程实现不了,但是65nm甚至45nm完全国产化应该没有问题。”
尽管这仅仅只是‘光刻机’技术的目录而已,但是以他的眼界看来,上面所阐述的内容应该大致属实。
甚至哪怕它无法真的造出一台‘32nmduv光刻机’,也能给夏微电子提供许多宝贵的经验,突破45nm制程的时间将会大大提前。
闻言。
瞬间,张予理的脸庞上大喜过望:“我马上把这一份技术的全套技术图逐步发送过去,你们夏微电子务必抓紧进行研发。”
“有任何的需求随时禀告我们,争取在最快时间把工艺制程突破到32nm!”
高端芯片对于大夏而言实在太过于重要,只要涉及任何尖端产业就不可能离得开这个,高端产业链更不可能脱离半导体的影响。
毕竟现代社会,是建立在高度信息化的框架之下,甚至未来大夏要进军‘智能手机’‘电动汽车’等等领域,更是需求运算速度优秀的芯片。
大夏整个半导体产业的通力配合,都必须要把这玩意给造出来才行。
“好!”赵思远浑身颤抖,从牙缝里蹦出这个字。
没有过多的言语,他此刻只想要快点回去魔都的夏微电子,立刻进行各种研发实验。
脑子里也已经顾不上考虑什么,技术究竟从何而来这种小事。
如今‘研制世界一流光刻机’的成功似乎终于能看见黎明的曙光,赵思远整个人彷佛都充斥着无尽的动力。
片刻后。
办公室内响起了赵思远匆匆离开的步伐,不用想也知道这是紧急赶回去筹备完整的‘研发方案’。
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